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耐腐蝕真空機是一種特殊的設備，需要經常進行維護和保養以確保其正常運行和延長使用壽命。以下是一些關鍵的維護和保養方面：

1. 定期清潔：定期清潔設備的內部和外部表面，以去除積塵、污垢和其他雜質。可以使用適當的清潔劑和軟布進行清潔，但要注意避免對設備造成損害。

2. 檢查密封件：檢查設備的密封件，如O型圈、密封墊等，確保其完好無損。如果發現有磨損或老化的密封件，應及時更換，以防止泄漏和設備損壞。

3. 潤滑部件：對設備的潤滑部件進行定期檢查和維護。根據設備制造商的建議，使用適當的潤滑劑進行潤滑，并確保潤滑劑的添加量符合要求。

4. 檢查真空泵：如果設備配備了真空泵，定期檢查泵的狀態和性能。清理泵的進氣口和排氣口，檢查泵的油位和油質，必要時更換泵油。

5. 檢查真空室：檢查設備的真空室，確保其內部沒有積聚過多的污垢和雜質。定期清理真空室，以保持其良好的真空性能。

6. 定期校準：定期對設備進行校準，以確保其測量和控制系統的準確性。根據設備的使用情況和要求，進行相應的校準操作。

7. 預防性維護：除了定期的維護工作外，還可以采取一些預防性的措施，如安裝過濾器、降低設備的負荷、避免長時間連續使用等，以減少設備的磨損和故障風險。

最重要的是，遵循設備制造商提供的維護手冊和指南，根據實際情況制定適合設備的維護計劃。如果有任何問題或需要更詳細的維護建議，建議咨詢專業的技術人員或設備供應商。